スタンフォードリサーチシステムズ

RGAシリーズ用の制御ユニットです。データ収集などで最大8台のRGAユニットをモニタリング可能です。豊富なインターフェースでラック統合型システムに最適です。

分圧ガスモニタの仕組み 

分圧ガスモニタPPM100は、残留ガス分析器（プロセスガスモニタ）RGAシリーズ用の制御装置です。ユーザーインターフェイスのメニューにより、オペレーターは簡単な操作で最大8台までのRGAユニットをモニタリングできます。

残留ガス分析器は気体試料をイオン化して、四重極型分析器により試料イオンを選別、最終的にイオン検出部で電子に変換されることで、高い精度での残留ガス分析を可能にします。

RGAユニットから送られるデータは、PPM100のディスプレイでリアルタイムに確認可能で、ガスの分析データを確認するとともに、アラームシステムにリンクさせることもできます。また4つのI/Oポートを備えているため、分析データを使ってヒーターやアクチュエーターを管理することも可能です。

インターフェイスにはGPIB・USB・RS-232C・Ethernetを備え、パソコンやWebで直接分析データを共有することも可能です。

主な用途と市場

分圧ガスモニタは残留ガス分析器RGAシリーズと組み合わせて、液晶・有機ELパネル製造装置プロセスモニタや、各種環境測定、研究開発システムなどに利用されます。
コーンズテクノロジーでは、PPM100の1機種を取り扱っています。