スタンフォードリサーチシステムズ

スタンフォードリサーチシステムズ

SRS社は、学術研究用途において定評があるメーカーです。
汎用計測器から光計測やガス分析装置まで、低コストで高パフォーマンスを特長とする幅広いラインナップにより、
様々なアプリケーションに対応します。世界中で採用されている実績は、その信頼性の証です。

クローズドイオンソース型 ガス分析計

クローズドイオンソース型 ガス分析計  CIS100 CIS200 CIS300

クローズドタイプの四重極質量分析計です。レスポンスが良くスパッタ装置などのオンラインプロセスの監視とコントロール、高真空残留ガスの分析及びプロセス機器のリークチェックなど、さまざまなアプリケーションに使用可能です。検出限界 1ppm以上、mTorr圧力で直接サンプリングが可能です。

マスレンジ 100、 200、300amu
検出感度 1ppm(EM差動時)
動作圧力 10mTorr
ソフトウェア RGAシリーズと共通
その他 GPSと同期可能 マルチヘッドオペレーション
GPSと同期可能 RGA/CIS モード

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