スタンフォードリサーチシステムズ

スタンフォードリサーチシステムズ

SRS社は、学術研究用途において定評があるメーカーです。
汎用計測器から光計測やガス分析装置まで、低コストで高パフォーマンスを特長とする幅広いラインナップにより、
様々なアプリケーションに対応します。世界中で採用されている実績は、その信頼性の証です。

プロセスモニタリングシステム

プロセスモニタリングシステム  PPR100 PPR200 PPR300

RGAシリーズに差動排気ポンプシステムを組み合わせたプロセスガス分析システムです。減圧用バイパスラインのマイクロオリフィスは0.01、0.1、1、10Torrの中からお選びいただけます

マスレンジ 100、 200、300amu
ダイナミックレンジ 6 桁(シングルスキャン)
測定圧力レンジ 10mTorr ~ 10Torr
フローレート 3x10-5 Torr-L/s
レスポンスタイム 2sec.
ソフトウェア RGAシリーズと共通

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