軟X線光学部品 X線ゾーンプレート

シルソン社のゾーンプレートは、高精度とリーゾナブルな価格を両立しており、国内でも着実に納入実績を増やしております。また、カスタム仕様にも柔軟に対応致します。

特長・機能

  • 種類:フレネルゾーンプレート、リニアゾーンプレート
  • 使用波長:EUV、軟X線、硬X線
  • 材質:PMMA、タングステン(W)、金(Au)、タンタル(Ta)
  • 材質厚さ:100nm~500nm (#1)
  • 最外郭線幅:50nm*
  • サポート レイヤー*:窒化シリコン(Si3N4)、フリースタンディング
  • ※上記仕様は、製作一例です。
  • ※インチのアルミサポートリングへ装着も可能です。(別途費用)
  • #1:ハイブリッド型(Metal/SiN)も可能です。
    (f.e. Tungsten 500nm/SiN 500nm)
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