軟X線光学部品 X線テストチャート

シルソン社では、X線顕微鏡の解像度チェックなどに用いられる微細なテストパターンを製造しております。電子ビームリソグラフィーにより50nm以下の線幅まで描画可能で、カスタムデザインにも柔軟に対応致します。国内外の放射光施設などに多数の納入実績を持っております。

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