熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ TM3
薄膜と微小領域の熱浸透率・熱伝導率の測定
熱物性顕微鏡(サーモウェーブアナライザ TM3)は熱浸透率を非接触かつ高分解能で測定可能にした装置です。 サンプルの熱物性を点、線、面での測定を可能にし、レーザーフラッシュ法、3ω法、2ω法などの従来の熱物性(熱伝導率、熱拡散率、熱浸透率)測定装置では難しいとされていた微小領域(ミクロンオーダー)や薄膜の熱物性値の分布測定が可能です。 半導体電子デバイスや記録媒体などの業界をはじめ、熱傾斜材料、金属ガラス、熱電変換素子、ダイヤモンド、SiC、太陽電池、AIN、燃料電池、航空宇宙材料、耐熱コーティング、Low-K膜、放熱シートなどの材料分野でも注目を集めています。
特長・機能
- 検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定（点・線・面測定）が可能です。
- 深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定できます。
- 基板上の試料も測定できます。
- レーザ光による非接触測定です。
- 薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。
アプリケーション
仕様
| 測定モード | 熱物性分布測定（1次元・2次元・1点） |
|---|---|
| 測定項目 | 熱浸透率、（熱拡散率）、（熱伝導率） |
| 検出光スポット径 | 約3μm |
| 1点測定標準時間 | 10秒 |
| 測定対象薄膜 | 厚さ 数百nm～数十μm |
| 繰り返し精度 | パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満 |
| 試料 |
|
| 使用温度範囲 | 24℃±1℃（装置内蔵温度センサーによる） |
| ステージ移動距離 |
|
| 加熱用レーザ | 半導体レーザ 波長：808nm |
| 検出用レーザ | 半導体レーザ 波長：658nm |
| 電源 | AC 100V 1.5kVA |
| 標準付属品 | サンプルホルダー、基準試料 (※オプション：光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置) |
- ※2010年8月現在
- ※性能および外観は、改善のため予告なく変更することがあります。
関連製品のご紹介
- 原子間力顕微鏡 AFM
パークシステムズ社（Park Systems）
カタログ・資料
TM3に関する論文
- 1.マイクロメーター領域での熱伝導率測定
山田 伊久子1), 粂 正市1), 渡利 広司1)
1) （独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 先進焼結技術研究グループ - 2.アルミナ焼結体の微小領域における熱浸透率/熱伝導率
山田 伊久子1), 粂 正市1), 渡利 広司1)
1) （独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 先進焼結技術研究グループ - 3.熱物性顕微鏡による高熱伝導炭化ケイ素単結晶の熱伝導率／熱浸透率の測定
山田 伊久子1), 粂 正市1), 渡利 広司1), 羽鳥 仁人2), 松井 源蔵2)
1) 産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門 2) (株)ベテル
材料 57(6), 539-542, 2008 The Society of Materials Science, Japan - 4.周期加熱サーモリフレクタンス法による Cu・Pt 合金薄膜の熱伝導率測定
三宅修吾1,3) 三宅 綾1) 池田健一1) 高松弘行2) 喜多 隆3)
1)株式会社コベルコ科研 2)株式会社神戸製鋼所 3)神戸大学大学院工学研究科
日本金属学会誌 第 73 巻 第 6 号(2009)434・438
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