熱物性顕微鏡 サーマルマイクロスコープ TM3

薄膜と微小領域の熱浸透率・熱伝導率の測定

熱物性顕微鏡(サーモウェーブアナライザ TM3)は熱浸透率を非接触かつ高分解能で測定可能にした装置です。 サンプルの熱物性を点、線、面での測定を可能にし、レーザーフラッシュ法、3ω法、2ω法などの従来の熱物性(熱伝導率、熱拡散率、熱浸透率)測定装置では難しいとされていた微小領域(ミクロンオーダー)や薄膜の熱物性値の分布測定が可能です。 半導体電子デバイスや記録媒体などの業界をはじめ、熱傾斜材料、金属ガラス、熱電変換素子、ダイヤモンド、SiC、太陽電池、AIN、燃料電池、航空宇宙材料、耐熱コーティング、Low-K膜、放熱シートなどの材料分野でも注目を集めています。

特長・機能

  • 検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定(点・線・面測定)が可能です。
  • 深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定できます。
  • 基板上の試料も測定できます。
  • レーザ光による非接触測定です。
  • 薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

アプリケーション

仕様

測定モード 熱物性分布測定(1次元・2次元・1点)
測定項目 熱浸透率、(熱拡散率)、(熱伝導率)
検出光スポット径 約3μm
1点測定標準時間 10秒
測定対象薄膜 厚さ 数百nm~数十μm
繰り返し精度 パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満
試料
  • 試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm
  • 板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内
    • 試料表面の鏡面研磨が必要です。
    • 試料表面にMoのスパッタリングが必要です。
使用温度範囲 24℃±1℃(装置内蔵温度センサーによる)
ステージ移動距離
  • X軸方向 20mm
  • Y軸方向 20mm
  • Z軸方向 10mm
加熱用レーザ 半導体レーザ 波長:808nm
検出用レーザ 半導体レーザ 波長:658nm
電源 AC 100V 1.5kVA
標準付属品 サンプルホルダー、基準試料 (※オプション:光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置)
  • ※2010年8月現在
  • ※性能および外観は、改善のため予告なく変更することがあります。

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カタログ・資料

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