マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5250S

高品質かつ高速合成を可能にしたダイヤモンド成膜装置のデファクトスタンダード

本装置SDS5250Sは、高品質かつ高速合成を目的としたダイヤモンド成膜装置です。メタルシールの高気密SUSチャンバーに、ハイパワーマイクロ波電源と冷却ステージを搭載した本装置は、ターボポンプを組み合わせることで、チャンバー内の不純物を取り除き、クリーンな状態で高密度プラズマを発生させることで、高品質と高速合成を両立しました。世界各国の主たる研究機関におけるダイヤモンド研究の成果は、本装置から生み出されており、各方面から高い評価を受けています。

特長・機能

  • 合成サイズ:2インチ以上
  • 成長速度:7μm/hr
  • 2重壁水冷式高気密チャンバー

アプリケーション

  • パワーデバイス
  • 量子コンピュータ
  • 光学部品 など

仕様

  • マイクロ波電源出力:5.0kW
  • 3系統MFC
  • 冷却ステージ
  • タッチパネルコントロール(インターロック・シーケンス&バルブ制御)

オプション

  • 追加MFC:最大6系統
  • 2波長式放射温度計
  • フィラメント式放射温度計
  • 高真空排気ポンプ
  • 光高温計
  • ドライポンプ
  • ロードロック機構
  • 完全手動/完全自動制御ユニット

カタログ・資料

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ダイヤ成膜装置部

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