高品質かつ高速合成を可能にしたダイヤモンド成膜装置のデファクトスタンダード

本装置SDS5250Sは、高品質かつ高速合成を目的としたダイヤモンド成膜装置です。メタルシールの高気密SUSチャンバーに、ハイパワーマイクロ波電源と冷却ステージを搭載した本装置は、ターボポンプを組み合わせることで、チャンバー内の不純物を取り除き、クリーンな状態で高密度プラズマを発生させることで、高品質と高速合成を両立しました。世界各国の主たる研究機関におけるダイヤモンド研究の成果は、本装置から生み出されており、各方面から高い評価を受けています。