マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5250S

特長・機能
- 合成サイズ:2インチ以上
- 成長速度:7μm/hr
- 2重壁水冷式高気密チャンバー
アプリケーション
- パワーデバイス
- 量子コンピュータ
- 光学部品 など
仕様
- マイクロ波電源出力:5.0kW
- 3系統MFC
- 冷却ステージ
- タッチパネルコントロール(インターロック・シーケンス&バルブ制御)
オプション
- 追加MFC:最大6系統
- 2波長式放射温度計
- フィラメント式放射温度計
- 高真空排気ポンプ
- 光高温計
- ドライポンプ
- ロードロック機構
- 完全手動/完全自動制御ユニット
カタログ・資料
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