ダイヤモンドエレクトロニクス／ナノダイヤモンド合成の必須装置

高品質のダイヤモンド合成において、最もキーとなるパラメータは温度管理です。本装置SDS5200Sではマイクロ波パワーによる温度コントロールだけでなく、高性能加熱ステージを標準搭載し、また2波長式放射温度計によって厳格な温度管理を行い、高品質ダイヤモンドの合成を可能にします。また、DCバイアス機能をオプション搭載することで、結晶方位を一律としたナノ／マイクロクリスタルダイヤモンドの合成も可能です。ご希望に応じて、ロードロック、ドーパント仕様にもカスタム対応いたします。