マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5200S

特長・機能
- 合成サイズ:2インチ以上
- 成長速度:0.1 – 0.5μm/hr
- 2重壁水冷式高気密チャンバー
アプリケーション
- パワーデバイス
- 量子コンピュータ など
仕様
- マイクロ波電源出力:1.5kW
- 3系統MFC
- 加熱ステージ
- タッチパネルコントロール(インターロック・シーケンス&バルブ制御)
オプション
- 2波長式放射温度計
- フィラメント式放射温度計
- 高真空排気ポンプ
- 光高温計
- DCバイアス
- ドライポンプ
- ロードロック機構
- 完全手動/完全自動制御ユニット
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