マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5200S

ダイヤモンドエレクトロニクス/ナノダイヤモンド合成の必須装置

高品質のダイヤモンド合成において、最もキーとなるパラメータは温度管理です。本装置SDS5200Sではマイクロ波パワーによる温度コントロールだけでなく、高性能加熱ステージを標準搭載し、また2波長式放射温度計によって厳格な温度管理を行い、高品質ダイヤモンドの合成を可能にします。また、DCバイアス機能をオプション搭載することで、結晶方位を一律としたナノ/マイクロクリスタルダイヤモンドの合成も可能です。ご希望に応じて、ロードロック、ドーパント仕様にもカスタム対応いたします。

特長・機能

  • 合成サイズ:2インチ以上
  • 成長速度:0.1 – 0.5μm/hr
  • 2重壁水冷式高気密チャンバー

アプリケーション

  • パワーデバイス
  • 量子コンピュータ など

仕様

  • マイクロ波電源出力:1.5kW
  • 3系統MFC
  • 加熱ステージ
  • タッチパネルコントロール(インターロック・シーケンス&バルブ制御)

オプション

  • 2波長式放射温度計
  • フィラメント式放射温度計
  • 高真空排気ポンプ
  • 光高温計
  • DCバイアス
  • ドライポンプ
  • ロードロック機構
  • 完全手動/完全自動制御ユニット

カタログ・資料

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ダイヤ成膜装置部

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