マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5010-INT

大学向けダイヤ成膜装置のエントリーモデル

本マイクロ波プラズマCVD装置は、ダイヤモンド合成の研究を始められる大学向けに特化して開発された低価格・省スペースが特徴のシステムです。装置構造がシンプルな為、学生でもダイヤの合成手順をゼロから理解することが出来、複雑なメンテナンス作業も必要ない為、研究室に1台あれば、複数の学生で共有・使用頂けます。エントリーモデルながらも、複数のオプションを用意しておりますので、これ1台で世界最先端のダイヤモンド研究環境が出来上がります。

特長・機能

  • 合成サイズ:1インチ
  • 成長速度:0.1-0.5μm/hr
  • 石英チャンバー

※ご予算に応じて、リアクターキットのみのご提案も可能です。

アプリケーション

  • 高品質単結晶/多結晶ダイヤモンド合成

仕様

  • マイクロ波電源出力 1.5kW
  • 3系統MFC

オプション

  • 追加MFC:最大4系統
  • 加熱ステージ
  • 2波長式放射温度計
  • ヒーターキット:<765℃ (@7.5X10-5mbar)
  • 高真空排気ポンプ
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。

ダイヤ成膜装置部

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