マイクロ波プラズマCVD装置 SDSシリーズ SDS5010-INT

特長・機能
- 合成サイズ:1インチ
- 成長速度:0.1-0.5μm/hr
- 石英チャンバー
※ご予算に応じて、リアクターキットのみのご提案も可能です。
アプリケーション
- 高品質単結晶/多結晶ダイヤモンド合成
仕様
- マイクロ波電源出力 1.5kW
- 3系統MFC
オプション
- 追加MFC:最大4系統
- 加熱ステージ
- 2波長式放射温度計
- ヒーターキット:<765℃ (@7.5X10-5mbar)
- 高真空排気ポンプ
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