低温CVDナノクリスタル・ダイヤモンド & カーボン合成

本装置は、リニアアンテナ構造を用いた独自のプラズマ発生技術を用いることで、6インチサイズのダイヤモンド合成を可能にしました。合成中の温度を450℃以下に抑えることで、プラスチックや金属類など、低融点材料への大面積ダイヤモンド合成が可能です。また、パルス方式でのマイクロ波発振をおこなうことで、低入力パワーで高いピークパワーを出力し、基板温度やプラズマ密度を独立調整することが可能です。絶縁性ダイヤだけでなく、ドーパントガスを用いることで、導電性ダイヤの合成も可能で、バイオメディカル、電気化学、エネルギー、保護膜やヒートスプレッダ等、ダイヤモンドの応用分野を飛躍的に広げる一台です。