リアルタイム表面形状解析 高分解能3次元粗さ測定用センサ LCIシリーズ

研究用途に最適な光学式表面粗さ測定、製造ラインに必要な高速計測も可能

LCIシリーズは、リアルタイムに対応した高速計測により表面形状解析が可能な高分解能3次元センサです。フォーカルスペック社が開発したLCI(ライン・コンフォーカル・イメージング法))技術によって、1秒間に最大8kHz(モデルに依存)という高速で、移動するワークの表面粗さの測定も可能にします。測定した結果は、ISO規格に準拠したRa, Rsm, Rz(粗さ値)、表面形状解析(Surface Profiling)、およびヒストグラムとして表示され、外部出力も可能です。
また、特許技術であるLCI技術は、計測対象の色や材質を選ばないため、今まで計測が困難であった金属(光沢仕上げ)やプラスティックフィルム(透明)のワークを安全性を維持したままナノスケールのZ分解能で計測可能です。

特長・機能

  • ISO規格に準拠した高精度3次元粗さ測定および表面プロファイリング
  • 可視光を用いた安全設計
  • 計測対象の色や材質を問わない
  • オンライン測定にも対応する高速計測

アプリケーション

  • フィルム、金属など、今まで計測が困難であった材質の表面粗さをナノスケールで測定

仕様(代表値)

  • 計測範囲(長さ): 11.26mm
  • ピクセルサイズ :  5.5μm(X方向)、25μm(Y方向)
  • Z軸分解能      : 0.55μm
  • 測定距離        : 16.16mm
  • Z軸範囲          : 2.8mm
  • 計測ポイント数 : 2048
  • 最大計測速度  : 2500Hz

カタログ・資料

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