大面積ウエハ、3次元コーティングも可能なマルチユースダイヤモンドCVD量産機

本装置HF30は、1900mmx1200mmというコンパクトな筐体に400x280mmの大面積ダイヤモンド合成を可能にした熱フィラメントCVD装置です。ウエハのような平板状のものから、ドリルや回転工具等の3次元状のサンプルにも均一なダイヤモンドコーティングが可能です。本装置は、量産機としての使用を考え、フィラメントテンション自動調整システムを備え、GUIを通じた完全自動運転が可能です。HF30の他に出力のバリエーションは最大120kWまで全５モデル。