熱フィラメントCVD装置 HF30

大面積ウエハ、マルチユースダイヤモンドCVD量産機
本装置HF30は、1900mmx1200mmというコンパクトな筐体に400x280mmの大面積ダイヤモンド合成を可能にした熱フィラメントCVD装置です。ウエハのような平板状のものからメッシュ状など3次元状のサンプルにも均一なダイヤモンドコーティングが可能です。本装置は量産機としての使用を考え、フィラメントテンション自動調整システムを備え、GUIを通じた完全自動運転が可能です。
また、最大出力を誇るHF120は最大400 x 1180㎝の成膜エリアを持ち、まさに量産のための装置です。出力のバリエーションは15kWから最大120kWまで全4モデル。
特長・機能
- 合成サイズ: 400x280mm以上(最大:400x1180mm)
- 成長速度: 0.2-0.5 µm/h
- 膜均一性: 10%以内
アプリケーション
- 超硬工具ダイヤモンドコーティング
- ダイヤモンド電極
- SOD(Si on Diamond)
- CMPアライナー
仕様
- DC電源:30kW(HF30)
- 3系統MFC
- GUI制御
オプション
- 追加MFC
- ロードロック
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