熱フィラメントCVD装置 HF30

大面積ウエハ、マルチユースダイヤモンドCVD量産機

本装置HF30は、1900mmx1200mmというコンパクトな筐体に400x280mmの大面積ダイヤモンド合成を可能にした熱フィラメントCVD装置です。ウエハのような平板状のものからメッシュ状など3次元状のサンプルにも均一なダイヤモンドコーティングが可能です。本装置は量産機としての使用を考え、フィラメントテンション自動調整システムを備え、GUIを通じた完全自動運転が可能です。

また、最大出力を誇るHF120は最大400 x 1180㎝の成膜エリアを持ち、まさに量産のための装置です。出力のバリエーションは15kWから最大120kWまで全4モデル。

特長・機能

  • 合成サイズ: 400x280mm以上(最大:400x1180mm)
  • 成長速度:  0.2-0.5 µm/h
  • 膜均一性:  10%以内

アプリケーション

  • 超硬工具ダイヤモンドコーティング
  • ダイヤモンド電極
  • SOD(Si on Diamond)
  • CMPアライナー

仕様

  • DC電源:30kW(HF30)
  • 3系統MFC
  • GUI制御

オプション

  • 追加MFC
  • ロードロック

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ダイヤ成膜装置部

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