大面積ウエハ、マルチユースダイヤモンドCVD量産機

本装置HF30は、1900mmx1200mmというコンパクトな筐体に400x280mmの大面積ダイヤモンド合成を可能にした熱フィラメントCVD装置です。ウエハのような平板状のものからメッシュ状など3次元状のサンプルにも均一なダイヤモンドコーティングが可能です。本装置は量産機としての使用を考え、フィラメントテンション自動調整システムを備え、GUIを通じた完全自動運転が可能です。

また、最大出力を誇るHF120は最大400 x 1180㎝の成膜エリアを持ち、まさに量産のための装置です。出力のバリエーションは15kWから最大120kWまで全4モデル。