マイクロ波プラズマCVD装置SDSシリーズ SDS6500X

合成ダイヤモンドのR&D、量産を両立したダイヤモンドCVD装置のフラッグシップ
CVD法によるダイヤモンド合成は、サンプル基板を高密度プラズマにさらすという、特異な合成法により、ダイヤモンドの大型化には、長時間のプラズマ安定性が不可欠です。本装置SDS6500Xは、数百時間の連続合成にも耐えうる高い信頼性と安定性を両立し、CVDダイヤモンドの量産をも可能にします。 貝のようにチャンバーを開ける独特なスタイルは、クラムシェルとも呼ばれ、製作には高い加工技術が求められます。
当社は数多くの装置製作実績から、安定した品質の装置を世に送り出し、世界中の様々なCVDダイヤモンドが、この装置をベースに作られております。
特長・機能
- 合成サイズ:2インチ以上
- 成長速度:7μm/hr
- クラムシェル・チャンバー
アプリケーション
- R&D
- 宝飾用
- 工具素材
- ヒートシンク
- 電極
仕様
- マイクロ波電源出力:5.5kW
- 3系統MFC
- 冷却ステージ
- GUI制御
オプション
- 追加MFC:最大6系統
- 2波長式放射温度計
- フィラメント式放射温度計
- 光高温計
- Z軸ステージ
- 自動温度制御
- 高真空排気ポンプ
- ドライポンプ
カタログ・資料
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