合成ダイヤモンドのR&D、量産を両立したダイヤモンドCVD装置のフラッグシップ

CVD法によるダイヤモンド合成は、サンプル基板を高密度プラズマにさらすという、特異な合成法により、ダイヤモンドの大型化には、長時間のプラズマ安定性が不可欠です。本装置SDS6500Xは、数百時間の連続合成にも耐えうる高い信頼性と安定性を両立し、CVDダイヤモンドの量産をも可能にします。 貝のようにチャンバーを開ける独特なスタイルは、クラムシェルとも呼ばれ、製作には高い加工技術が求められます。
当社は数多くの装置製作実績から、安定した品質の装置を世に送り出し、世界中の様々なCVDダイヤモンドが、この装置をベースに作られております。