マイクロ波プラズマCVD装置SDSシリーズ SDS6500X

合成ダイヤモンドのR&D、量産を両立したダイヤモンドCVD装置のフラッグシップ

CVD法によるダイヤモンド合成は、サンプル基板を高密度プラズマにさらすという、特異な合成法により、ダイヤモンドの大型化には、長時間のプラズマ安定性が不可欠です。本装置SDS6500Xは、数百時間の連続合成にも耐えうる高い信頼性と安定性を両立し、CVDダイヤモンドの量産をも可能にします。 貝のようにチャンバーを開ける独特なスタイルは、クラムシェルとも呼ばれ、製作には高い加工技術が求められます。
当社は数多くの装置製作実績から、安定した品質の装置を世に送り出し、世界中の様々なCVDダイヤモンドが、この装置をベースに作られております。

特長・機能

  • 合成サイズ:2インチ以上
  • 成長速度:7μm/hr
  • クラムシェル・チャンバー

アプリケーション

  • R&D
  • 宝飾用
  • 工具素材
  • ヒートシンク
  • 電極

仕様

  • マイクロ波電源出力:5.5kW
  • 3系統MFC
  • 冷却ステージ
  • GUI制御

オプション

  • 追加MFC:最大6系統
  • 2波長式放射温度計
  • フィラメント式放射温度計
  • 光高温計
  • Z軸ステージ
  • 自動温度制御
  • 高真空排気ポンプ
  • ドライポンプ

カタログ・資料

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ダイヤ成膜装置部

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