卓上型プラズマ表面改質装置

カタログ・資料
特長
・コンパクト設計
・1ボタン自動オペレーション
・用途に合わせてチャンバーサイズ変更可
・チャンバーサイズ: BL200(14L or 25L)、BL300(11L or 19L)
・安全性の高い試薬カートリッジ(Shieldex™)
・プリインストールレシピ
・試薬カートリッジ切れに対応した自動シャットダウン機能
・第2試薬カートリッジ設定可
※真空ポンプ、コンプレッサー、試薬、設置ラックを同梱したクイックスタートセットもご用意しております
試薬
撥水コートに使用するShieldexTMはIST社が独自に配合した非腐食性、非毒性で安全性の高い試薬です
使い捨て金属製カートリッジ入りで取り扱いも簡単です
ShieldexTMの他にCF4、SF6、C2F6、H2O、H2O2の試薬カートリッジも選べます
用途
バイオMEMS
補聴器
プリント基板
ナノ保護コーティング
動画ライブラリ
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当社スタッフが必要な条件・用途をお伺いした上で、最適な製品をご提案いたします。
ダイヤ成膜装置部
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