表面改質超分子気相成膜装置

超撥水から超親水まで化学気相成長ナノコーティング

Integrated Surface Technologies (IST) 社のRPX-540は、気相成長方式の産業用材料表面改質処理装置です。独自のコントロール技術により超撥水から超親水まで金属、ガラスのような固いものに限らず、繊維やフレキシブルプリント基板のような柔らかい素材にも自由に成膜可能です。

気相成長方式は従来のウェットプロセスと比較して試薬の使用量を大幅に削減し廃液処理のコストも最小にします。IST社独自の試薬カートリッジにより試薬の交換や調整作業の煩わしさも軽減。化学物質の管理や装置のメンテナンスの心配から解放されることでユーザーは製造に集中することができます。また、RPX-540は、生物学、工業、トライボロジーのアプリケーションに最適です。 生物学的用途では、機能性シランおよび不活性バリアに応用可能です。工業用途には、多種多様な接着促進剤(エポキシ、アミン、チオール)が利用可能です。トライボロジーの要求に対しては長鎖自己組織化単分子膜(SAM)は、低表面エネルギーの付着防止膜またはインプリント剥離層を作ることができます。

カタログ・資料

超撥水コーティング

RPX-540はALD(Atomic Layer Deposition) とCVD (Chemical Vapor Deposition) のハイブリッドプロセスによりカスタマイズされたナノ・コンポジット構造を材料表面に形成します。最大5種類のプリカーサ(前駆物質)ボトルを搭載可能で、順番にプリカーサを作用させることでアプリケーションに合わせた様々な特殊膜を形成することができます。ボトルから供給される前駆物質は加熱により気化しISTのVaporrixインジェクタによって正確に計量、制御され単独で供給されます。試薬種、流速、温度、注入タイミングの重複制御は、高度なナノコンポジットコーティングの作成を可能にします。また、温度制御された減圧チャンバーでは雰囲気中の湿度は除去され好ましからざるプロセスへの影響を排除します。プロセス全体は閉じた系であり、ナショナルインスツルメンツ社のLabviewよって常にモニタされています。

 

 

 

 

 

仕様

 

主要装備

60Lチャンバー

最大試薬搭載数5

1000Wプラズマ源

標準プロセスレシピ付き

マルチユーザー対応

インターロック装備

CE、Semi S2、Semi S8 適合

装置寸法・重量

WxDxH(cm):66x92x168

重量: 360kg

 

オプション

サンプルローダー

使用可能な試薬

 

撥水性コート
FOTS(C8)、FNTS(C6)、DDMS、PETS
OTS、DTS、TMCS、PPTCS

 

癒着防止コート
3-4-Epoxycyclohexylethyltrimethoxysilane
3-Methacryloxypropyl – trimethoxysilane TMCS
Mercaptopropyl – trimethoxysilane
Glycidoxy-Tri-methoxysilane
APTMS
Butyl-AldehydeTrimethoxysilane

親水性コート
mPEG6、mPEG9、AETCS

 

 

生物学向けコート

V11TCS、DDTCS、UTS、DTS、OTS

 

 

 

 

※その他の試薬はお問い合わせください

 

 

 

アプリケーション

  • 接着プロモータ
  • バイオアッセイ
  • ガラス製品
  • 補聴器
  • インプリント
  • MEMS
  • 疎水性コーティング
  • プリント基板
  • ナノ保護コーティング

テクニカルライブラリ

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ダイヤ成膜装置部

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