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パークシステムズ社よりNX-Hivac型真空AFMがリリースされました。

半導体材料・電気材料の電気特性・故障解析に最良のAFMをご提案します。

パークシステムズ社(本社:韓国)は2015年7月27日、半導体材料・電気材料の電気特性・故障解析に最良の新製品「X-Hivac型真空AFM」のリリースを発表しました。

新製品「X-Hivac型真空AFM」の特徴は以下のとおり。

 

1. 半導体・電子材料の電気特性及び故障解析評価に最適

AFMによる電気特性計測モードには、SCM(キャパシタンス顕微鏡)、SSRM(拡がり抵抗法顕微鏡)、iAFM(コンダクタンスAFM)等があります。材料が持つ特性上、大気中では水分或いは酸素の影響で計測できないという問題がある場合は、当然ながらガス雰囲気や真空環境で計測する必要があります。
しかしながら、試料の特性に依存せずに測定モードの動作原理により、大気中では正確に或いは高分解能で測定できない場合があります。この現象が顕著に影響するとして、広く知られている測定モードの一つに、SSRMモードがあります。SSRMモードを使って大気中で計測する場合は、試料表面に存在する水のレイヤーの影響により、測定時のチップの触圧を非常に強くしてスキャンしなければ計測ができません。結果、試料表面とチップ間の摩擦力が非常に大きくなり、試料表面が一回のスキャンでダメージを受けてしまうために、その他の一般的な測定モードのように同じ場所を繰り返してスキャンすることができません。プローブの先端の摩耗の問題も大きく、また得られるデータの空間分解能も劣化しています。これを真空環境下において計測すると、試料に対するチップの触圧も小さくでき、繰り返し安定して計測できるばかりでなく、データの空間分解能も非常に向上します。尚、不活性ガスの雰囲気での測定手法も大気中よりは改善されますが、真空環境の測定にはまったく及びません。
AFMによるナノスケールにおける電気特性の計測には、真空環境が様々な優位性を与えてくれます。

2. 大型真空チャンバー、マルチプル試料台、電動ステージ

従来のAFM用真空チャンバは、一般にサイズが小さく、同時に操作性もあまりよくありませんでした。特に複数の試料を同時にセットして、自動計測を行うようなハードウエアが提供されていませんでした。Park NX-Hivacは、最大5試料まで同時にセットでき、自動ステージにより複数の試料を連続測定が可能です。試料交換のドアも大きいので操作性が非常に高い装置設計になっています。

3. StepScanとSmartScanで簡単に連続自動計測

大気中の大型試料用AFMで長年採用されてきた連続自動測定機能の「StepScan」と、初心者でも熟練したエンジニア・研究者と同じ高品質なイメージングを簡単な操作で可能にした「SmartScan」機能が標準搭載されています。この組み合わせにより、真空AFMであるにもかかわらず非常に操作性とスループットの高い運用が可能になっています。

4. XY/Z 完全独立型フレクチャー式クローズドループスキャナで正確なAFM計測

パークシステムズ社製大気中AFMで非常に定評のある完全独立型XY/Zスキャナを真空AFMに搭載しました。これにより、ボウイングの無い正確な計測が可能です。フレクチャー搭載のクローズドループ スキャナは、X、Y、Zのすべての方向で干渉が無いので、業界トップの精度で直行したスキャン動作を行います。また、クローズドループ スキャナのセンサーノイズも非常に低いので、正確な電気特性と同時にフラットかつ高分解能な計測を可能にします。

 

パークシステムズ社について

パークシステムズ社は、韓国に本社を置く、原子間力顕微鏡(AFM)のリーディングカンパニーです。化学、材料、物理、ライフサイエンス、半導体、データストレージなど、様々な研究領域の全ての領域をカバーするAFMを提供しています。

参考情報: 当社取扱いパークシステムズ社製品

本件に関するお問い合わせ先

理化学機器営業部

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