卓上型表面形状解析・高分解能3D粗さ計 UULAシリーズ

卓上型表面形状解析・高分解能3D粗さ計 UULAシリーズ粗さ・形状計測検査器

  • 表面粗さ/形状測定
  • オンライン・インライン対応
  • 非接触式
  • 光学式3D粗さ計
  • 3D形状計測装置

製品概要

UULAシリーズは、あらゆる材質に対してサブミクロンレベルの正確な測定をオフラインで行うことができる卓上型表面形状解析・高分解能測定器です。

FocalSpec(フォーカルスペック)社が開発したLCI技術を用いたセンサを搭載したUULAシリーズは、計測対象の色や材質を選ばないため、今まで計測が困難であった金属(光沢仕上げ)、鏡、ゴムやプラスチックフィルムのワークを一度に計測する事が可能です。
また、LED可視光を用いる事で安全性を維持したまま高速にナノスケールのZ分解能で計測可能です。

品質管理・研究開発に最適な光学式 非接触で表面粗さを高速計測

  • 高精度3次元粗さ測定および表面プロファイリング(ISO規格準拠)
  • LED可視光を用いた安全設計と長期安定性
  • 計測対象の色や材質を問わない
  • 計測から解析まで1台で完結するオールインワン設計
  • 日本語対応のソフトウェアFocalSpecMapで解析可能

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アプリケーション事例① スマートフォンの表面粗さ・形状寸法測定

LCIは、2.5および3D湾曲ガラスの測定に使用できる世界唯一の技術です。同技術はガラスの形状を検出するために、UULAによりスマートフォンの湾曲ガラスディスプレイを測定。また、ガラスとフレーム間のギャップとオフセットを測定します。

アプリケーション事例② 透明なマイクロ流体チップの寸法測定

UULAを用いて透明なマイクロ流路チップを測定し、マイクロチャンネルの3D寸法を検出。また、チャネルの高さおよび幅も測定できます。

アプリケーション事例③ プリンテッド バイオセンサの3D寸法及び表面粗さ測定

プリンテッドバイオセンサのシートをUULAにより計測。有効エリア上の3D寸法および表面粗さを検出。また、導電性のインクの厚みも測定可能。

LCIシステムにより、フィルタリングが不要な高速測定が可能に

LCIとは??
FocalSpec(フォーカルスペック)社の新しいLCI(ラインコンフォーカルイメージング)技術は、1秒間に最大5kHzの高速サンプリングで、静的・動的な様々な表面状態を高速かつ高分解能で3D測定を行うことが可能です。

測定した結果は、ISO規格に準拠したRa、Rsm、Rzなどの表面粗さや、表面形状解析に対応しています。特許技術であるLCI技術は、計測対象の色や材質を選ばないため、今まで計測が困難であった金属(光沢仕上げ)やプラスチックフィルム(透明)のワークを安全性を維持したままサブミクロンのZ分解能で計測が可能です。

3D表面プロファイル、3D寸法計測およびトモグラフィ、バリ高さ、表面粗さ、シール品質検査等で使用することができます。

LCIの動作原理
①LEDから照射される白色光を、プリズム光学部品で数千の波長の連続スペクトルに分割
②分割された各波長は、センサから一定の距離にある平面上に集束
③高さ情報と紐づけられた波長のうち、焦点が合う波長のみがレンズを経由しラインセンサに入射
④2048ピクセルのラインセンサ上に入射された波長から、高さ情報を算出し結果を出力

結果は後処理もない生データのため高速計測が可能です。

LCIと既存技術との比較

LCIシステムで得られるメリット
・より高速での表面プロファイル計測 (t =  1 µs…10µs)
・製造ラインでの振動への高い耐性
・直接測定法 (実際の表面輪郭測定に基づく)
・移動するワークの測定も可能
・透明体や金属のような光沢のある素材でも利用可能
・ワークの表面色や質感での影響度無し

得られた結果を日本語対応のソフトウェアFocalSpecMapで解析

得られた結果は日本語対応のソフトウェアFocalSpecMapで解析可能
UULAにより測定した結果は、日本語対応したソフトウェアFocalSpecMapにより、ISO規格に準拠したRa, Rsm, Rz(粗さ値)、表面形状解析(Surface Profiling)、及びヒストグラムなどの解析が可能であり、必要に応じて各種データ形式で後処理用にエクスポートする事が可能です。そのため、製品のバッチ品質評価や研究開発のように最適なシステムとなっています。

解析する内容に応じて3バージョンから選択可能
FocalSpecMapソフトウェアはStandardバージョンをベースに、より機能が追加されたExtendedやPremiumバージョンにアップグレードが可能になっています。用途に合わせて、Standard、Extended、Premiumの3種類のバージョンから選択可能です。

①2D advanced surface texture:2D表面テクスチャーの解析を行うための機能
②Contour analysis:プロファイルの幾何寸法および公差の評価を行うための機能
③Statistics:測定結果の統計解析を行うための機能

アプリケーション

フィルム、金属など、今まで計測が困難であった材質の以下表面粗さをナノスケールで測定

透明または半透明素材
・ガラス及びポリマーシートの表面粗さ/厚さ測定
・3D表面パターン/ 質感の測定
・透明又は半透明基材上のコーティング厚さプロファイル測定

半導体、シリコンウエハ、PVセル、PCB、エレクトロニクス
・PCB、フレキシブル回路などの深さとプロファイルの測定
・BGAはんだホールの測定とその共平面性の測定
・レーザやインクジェットのマーキングの測定

高い反射性又は鏡面状の表面
・小径の丸みを持つエッジの3Dプロファイル測定
・ギャップ/オフセット/平坦度の測定
・高精度成型部品の測定

ウェブ及びその他の連続製品
・表面粗さ/形状計測計測
・ポリマーフィルムの折れによる皺の検出
・非透明ポリマー、紙及び金属ウェブの厚さ測定

金属
・3D表面パターン/質感/平坦度の測定
・精密プレス加工品のバリ高さの測定
・溶接ビードの測定

概略仕様

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