光干渉式 無機物・薄膜測定器 MProbeシリーズ

光干渉式 無機物・薄膜測定器 MProbeシリーズ水分計・膜厚計・多成分測定器

  • 無機物・薄膜厚測定器
  • オンライン・インライン対応
  • 光学干渉式
  • IP67対応

製品概要

Semiconsoft社が提案する光学干渉に基づいたMProbeシリーズは、今まで困難であった製造ラインにおける無機物・薄膜・コーティング厚の品質管理を、ナノオーダレベルで“インライン”測定できる厚さ計です。

充実した光源のラインアップと分光の組み合わせにより、反射率/透過率などの物理的パラメータの他、1nm~1mmの膜厚を高精度且つ連続で測定可能です。

又、オンラインモデルの他、極めて小さな領域の厚みの測定を行う顕微鏡モデルも提供可能です。

 

従来のR&Dの薄膜の品質管理を製造ラインでも使用できる、高速光干渉型膜厚測定器

  • インライン対応:150m/min以上の製造ラインのスピードに対応
  • 高い耐環境性:IP67等級の筐体に内蔵された測定システム
  • 様々な材質に対応:充実した光源のラインナップ
  • 幅広い測定レンジ:分光器の変更により1nm~1mmの中から選択可能
  • 組み込みが容易:PLCベースの測定システムのため、組み込みが容易
  • R&D用途:解析に最適な顕微鏡モデルも提供可能

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MProbeの主な仕様

確度: <0.2%又は1nm
再現性:<0.02nm又は0.03%
スポットサイズ: 3mm標準(最小3μm) *カスタムに関してはご相談ください。
サンプルサイズ: 1mmから

(注:インラインモデル及び顕微鏡モデルに関する仕様は、別途お問い合わせください)

 

 

主なアプリケーション

  • ポリマーフィルムのフィルム厚及び反射係数の測定
  • フォトレジストにおける厚み測定(ガラス、シリコン及び金属基材上など)
  • 薄膜ソーラー上のCIGS,CdS/CIGS, ZnO, Sb2Se3の測定
  • 曲面材質上のハードコート計測
  • 電子材料におけるITOやハードコートなどの測定
  • MEMSアプリケーションの膜厚測定
  • フッ素コーティング・テフロンコーティング厚の測定
  • 半導体、多孔質、多層膜におけるn&kの測定
  • 金属上のプロウレタン、潤滑油、メタルフィルムの測定

Mprobeが使用する分光反射率法に関して

MProbeシステムは、指定された波長範囲で計測対象であるレイヤ構造から、反射又は透過した光を測定します。異なる界面から反射された光は同相又は異相のため、干渉により光が強め合ったり打ち消しあったりする事で、フィルム構造の特徴である強度振動を引き起こします。
光学的方法は間接測定のため、フィルムのスタックパラメータ(厚さ、光学定数、表面粗さなど)を決定するために測定データを分析する必要があります。データの分析には、一般的に以下2つのアプローチが使用されます。

フーリエ変換:
この方法は厚いレイヤー(> 2um)の厚さを決定するために使用されます。

カーブフィッティング:
ソフトウェアがフィルムスタックの理論的反射率を計算し、測定データに最もよく合うようにパラメータを調整します。フィルムのスタックパラメータは“ベストフィット”から推定されます。この方法は、通常、薄層に対して、又は光学定数や表面粗さに関する情報を決定する必要がある場合に使用される。

柔軟な設定と操作が可能な解析ソフトTFCompanion

TFCompanionは、薄膜分析・計測のための強力且つユーザーフレンドリーなソフトウェアです。
TFCompanionはシミュレーションと感度解析をサポートしており、測定データに対するフィルムスタックの変更の影響を評価する事ができます。これにより、測定/計算誤差を推定し、その後測定レシピの作成と最適化により、測定精度と測定速度間のトレードオフの関係を軽減する機能を与えます。TFCompanionは、MProbeシステムと組み合わされている他、データ分析用のスタンドアロン用ソフトウェアとしても使用可能です。

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