真空計測

大気圧から超高真空まで広帯域測定レンジのガス分析装置です。混合ガス・腐食性ガスのモニタリングや分析など多くのアプリケーションに対応します。

SRS社マスフィルタのベースとなる四重極質量分析器です。信頼性の高いデータ取得はもとより、フィラメント、エレクトロンマルチプライヤ（EM）の交換が容易な点などリーズナブルで高いメンテナンス性能にも定評があります。対象のマスレンジによりモデルの選択が可能です。

RGAシリーズに差動排気ポンプシステムを組み合わせたプロセスガス分析システムです。減圧用バイパスラインのマイクロオリフィスは0.01、0.1、１、10Torrの中からお選びいただけます。

クローズドタイプの四重極質量分析計です。レスポンスが良くスパッタ装置などのオンラインプロセスの監視とコントロール、高真空残留ガスの分析及びプロセス機器のリークチェックなど、さまざまなアプリケーションに使用可能です。検出限界 1ppm以上、mTorr圧力で直接サンプリングが可能です。

RGAシリーズ用の制御ユニットです。データ収集などで最大8台のRGAユニットをモニタリング可能です。豊富なインターフェースでラック統合型システムに最適です。

高性能真空計制御ユニットIGC100とピラニゲージ・電離真空計を組み合わせることによって、1,000Torr〜2x10-11までの測定が可能になります。