光関連製品 大学・研究機関向け : 光部品 光関連製品
軟X線光学部品
X線ゾーンプレート
シルソン社のゾーンプレートは、高精度とリーゾナブルな価格を両立しており、国内でも着実に納入実績を増やしております。また、カスタム仕様にも柔軟に対応致します。
特長・機能
- 種類：フレネルゾーンプレート、リニアゾーンプレート
- 使用波長：EUV、軟X線、硬X線
- 材質：PMMA、タングステン（W）、金（Au）、タンタル（Ta）
- 材質厚さ：100nm〜500nm (#1)
- 最外郭線幅：50nm*
- サポート レイヤー*：窒化シリコン（Si3N4）、フリースタンディング
- ※上記仕様は、製作一例です。
- ※インチのアルミサポートリングへ装着も可能です。(別途費用)
- #1：ハイブリッド型(Metal/SiN)も可能です。
（f.e. Tungsten 500nm/SiN 500nm）
| お問い合わせ先 | 電子部品営業部 東京Tel. 03-5427-7564 大阪Tel. 06-6532-1012 |
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