光関連製品 大学・研究機関向け : 光部品 光関連製品
軟X線光学部品
透過型回析格子
テストチャートやゾーンプレートと同様に、カスタム仕様に柔軟に対応致します。
特長・機能
- 種類：ピンホール型、メッシュ型
- 使用波長：EUV、軟Ｘ線、硬Ｘ線
- 材質：PMMA、タングステン(W)、金(Au)、タンタル(Ta)
- 材質厚さ：100nm〜1000nm (#1)
- グレーティング周期 : 200nm
- サポート レイヤー : 窒化シリコン(Si3N4)、フリースタンディング
- ※上記仕様は、製作一例です。
- ※インチのアルミサポートリングへ装着も可能です。(別途費用)
- #1：ハイブリッド型(Metal/SiN)も可能です。
（f.e. Tungsten 500nm/SiN 500nm）
| お問い合わせ先 | 電子部品営業部 東京Tel. 03-5427-7564 大阪Tel. 06-6532-1012 |
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