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軟X線光学部品

窒化シリコン薄膜

窒化シリコン薄膜

シルソン社の提供する窒化シリコン薄膜は、表面精度が高く、化学的に無害なため生物細胞や生体試料などへのサンプルホルダに最適です。また、X線や電子ビームに対し優れた透過効率を持っており、透過窓や真空窓としての実績も多数ございます。豊富な種類の標準品からご選択頂けるのはもちろんのこと、カスタム仕様にもリーズナブルな価格で柔軟に対応致します。

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特長・機能

    • 薄い（>20nm厚）
    • 優れた表面精度
    • 化学的に無害な材質
    • X線や電子ビームに対する優れた透過効率

アプリケーション

    • サンプルホルダ（TEM、SEM、X線顕微鏡など)
    • 透過窓、真空窓

仕様

    • 標準仕様
      • SiRN薄膜サイズ：　0.25mm、0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mm、3.0mm、4.0mm、5.0mm角
      • SiRN薄膜厚さ：　30nm、50nm、75nm、100nm、150nm、200nm、500nm、1000nm
      • シリコン基盤サイズ：　5.0mm、7.5mm、10.0mm角
      • シリコン基盤厚さ：　100μm、200μm、381μm、525μm
    • TEM（透過型電子顕微鏡）用仕様
      • SiRN薄膜サイズ：　0.25mm、0.5mm角
      • SiRN薄膜厚さ：　30nm、50nm、75nm、100nm、150nm、200nm、500nm
      • シリコン基盤サイズ：　2.65mm角（TEM用サイズ）
      • シリコン基盤厚さ：　100μm、200μm

オプション

    • アレイタイプ薄膜窓、長方形薄膜窓など様々なご要望に対応
    • 薄膜上への金属コーティング、グリッド、スペーサにも対応
    • アルミニウムサポートリング（直径1インチ）も準備

カタログ・資料

 

メーカー情報

シルソン社

シルソン社は窒化シリコン薄膜の専門メーカーとして、世界中の企業・大学・研究機関への豊富な供給実績がございます。また、電子線リソグラフィによる微細加工も得意としており、窒化シリコン薄膜を基に、軟X線用や電子ビーム用の解像度測定用テストパターン、透過型回折格子、ゾーンプレートなどのご提案も可能です。カスタム仕様にも柔軟に対応致します。

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