表面改質気相成膜装置

RPX-540は、独自の表面工学技術で、表面改質化学とラフネス制御、さらに layer-by-layer depositionプロセス技術を結合させた超親水から超撥水まで対応可能な次世代の表面改質成膜装置です。スプレーコートやディッピングといった従来主流であったウェットプロセスと比べて真空技術を取り入れたドライプロセスによるコーティングは、余分な薬液の消費を解消し、成膜後の廃液処理のための設備投資も不要となり、大幅なランニングコストの低減と環境への悪影響の解消を可能にしました。また、優れた膜質の再現性は、研究開発用途はもとより、産業向け量産用途にも適した基材表面改質処理装置です。 (用途に合わせコンパクトサイズ・拡張サイズのチャンバー機種対応可能です。)